소개

선도적 인 공정 제어 계측 회사는 반도체 제조 및 테스트 장비를위한 가열 재킷을 재 설계하는 데 도움을 청하기 위해 Boyd에게 접근했습니다. 재킷은 장비의 진공 튜브 및 공정 라인을 단단히 덮고 최대 200 ° C의 일정한 온도를 유지하기 위해 능동적 인 가열 및 단열재를 제공해야했습니다.

가열 재킷은 가스 분석기, 질량 유량 컨트롤러, 박막 증착 장비 등을 포함한 다양한 반도체 장비와 호환되어야 하므로 엄격한 환경 및 제조 요구 사항이 필요합니다. Boyd의 열 전문 지식과 여러 성공적인 과거 프로젝트에 대한 정밀 변환 경험에 의존하여 고객은 도움을 요청했습니다.

프로젝트 정보

고객:
  • 공정 제어 계측 회사

응용 프로그램:
  • 반도체 제조 및 테스트 장비

기술:
  • 솔리마이드® 폼

산업:
  • 반도체

위치:
  • 미국
반도체를 설치하는 로봇 팔

반도체 장비 과제를® 위한 SOLIMIDE

고객은 처음에는 유리 섬유 배팅과 실리콘 폼을 가열 재킷 내의 단열재로 사용했지만이 구조에 문제가 빠르게 발생했습니다. 이러한 재료는 제조하기가 어렵고, 미립자를 생성하고, 가스를 배출 할 수 있으며 설치가 어려웠습니다. 그들은 극한의 온도를 처리 할 수있을뿐만 아니라 환경 제어를 최적화하고 제작을 단순화하며 설치 및 제거를 용이하게하는 비용 효율적인 재료로 전환하기를 원했습니다.

프로젝트 목표

  • 가스 배출 및 입자 생성을 최소화하여 직원 및 민감한 장비 보호
  • 재료가 단단한 모양과 독특한 형상으로 제작되는 동시에 열 요구 사항을 충족 할 수 있는지 확인하십시오.
  • 정기적 인 유지 보수를 위해 설치 및 제거가 간단한 비용 효율적인 솔루션 엔지니어

보이드의 솔리미드® 솔루션

초기 가열 재킷 구조로 문제를 분석 한 후, Boyd의 엔지니어는 실리콘 폼 및 유리 섬유 배팅을 SOLIMIDE® 폼으로 완전히 교체 할 것을 권장했습니다. SOLIMIDE®는 Boyd가 다른 산업의 유사한 파이프 및 덕트 라이닝 응용 분야에 성공적으로 통합 한 경량의 개방 셀 폴리이미드 폼입니다. Boyd의 엔지니어들은 이 폴리이미드 폼이 열 요구 사항을 초과하고, 현재의 많은 문제를 해결하며, 전반적인 가열 재킷 성능을 향상시킬 수 있다는 것을 알고 있었습니다.

초기 재킷 디자인의 가장 큰 과제 중 하나는 재료가 제조 환경에 미치는 영향이었습니다. 실리콘 폼은 고온에서 가스를 많이 배출 할 수 있으며 민감한 재료와 장치에 응축됩니다. 유리 섬유 타격은 동일한 작업 환경에서 다른 중요한 구성 요소를 손상시킬 수있는 입자를 쉽게 생성하고 피부 자극 및 미립자의 폐 흡입으로 직원의 안전을 위태롭게합니다.

난방 재킷은 다른 민감한 장치와 클린 룸의 고도로 규제 된 반도체 생산 및 테스트 장비에 사용되므로 시스템 설계자는 다른 구성 요소를 손상시킬 수없는 재료를 선택해야합니다. SOLIMIDE는 최소한의 가스 배출이® 특징이고, 포름알데히드가 없으며, 입자 생성이 매우 적기 때문에 이상적인 대체품이었습니다.

SOLIMIDE® 폼은 또한 유연하며 실리콘 폼 및 유리 섬유에 비해 단단한 모양과 각도로 변환하기가 훨씬 쉽습니다. 재킷이 필요한 다양한 진공 튜브 및 공정 라인을 감안할 때 다양한 직경, 길이 및 모양이 필요합니다. SOLIMIDE®는 수십 개의 표준 크기와 치수로 쉽게 변환되었으며 독특한 장비에 맞게 맞춤형 모양으로 제조 할 수있었습니다.

또한 SOLIMIDE 폼의 가볍고 자립적인® 구조로 인해 새로운 가열 재킷을 설치하고 제거하는 것이 훨씬 간단해졌습니다. 일부 반도체 장비는 기본 라인의 재킷을 매주 교체하는 지속적인 유지 보수가 필요했습니다. SOLIMIDE®는 파이프에 쉽게 맞도록 맞춤형 형상으로 제조 될 수 있었고 작업하기에 훨씬 안전했기 때문에 장비 유지 보수가 크게 단순화되었습니다.

광범위한 테스트 후, SOLIMIDE® 폼을 특징으로하는 새로운 가열 재킷의 프로토 타입이 공정 라인에 구현되었습니다. 새로운 재킷 구조는 다른 모든 프로젝트 과제를 해결하면서 열 요구 사항 (일부 SOLIMIDE® 제형은 최대 300 ° C의 연속 사용을 견딜 수 있음)을 초과했습니다. 유리 섬유 및 실리콘 대신 SOLIMIDE®를 사용하면 전체 열 재킷 무게가 낮아졌으며 원래 재료와 비용 경쟁력이있었습니다.

특수 형상으로 변환된 SOLIMIDE® 폼 컷
링 모양으로 절단 된 SOLIMIDE® 폼

보이드의 솔리미드® 결과

광범위한 재료 과학 전문 지식과 정밀 변환 경험을 결합한 Boyd는 안전을 최적화하고 설치를 간소화하며 반도체 장비 가열 재킷의 제조 프로세스를 단순화 할 수있었습니다. 새로운 재킷은 현재 다양한 맞춤형 직경, 길이 및 모양과 함께 여러 표준 크기로 제조되며 전 세계의 반도체 테스트 장비에서 찾을 수 있습니다. 이 프로젝트의 성공으로 인해 고객은 SOLIMIDE® 폼을 사용하여 다른 구성 요소 및 프로세스를 최적화 할 수있는 다른 기회를 얻었습니다.

질문이 있으십니까? 저희가 도와드리겠습니다!